全光譜橢偏儀是一種用于生物學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器。常用來探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、孔隙率以及材料微結(jié)構(gòu)的特性。工作原理是基于橢圓偏振光在樣品表面的反射，通過測(cè)量反射光的偏振態(tài)變化（幅度和相位），來計(jì)算或擬合出材料的相關(guān)屬性。入射光束（通常為線偏振光）的電場(chǎng)可在兩個(gè)垂直平面上分解為矢量元，反射光或透射光一般是橢圓偏振光。用復(fù)數(shù)ρ來表示偏振態(tài)的變化，其中ψ和?分別描述反射光 p 波與 s 波振幅衰減比和相位差。通過菲涅耳反射系數(shù) rp 和 rs 以及相關(guān)公式，可以計(jì)算出材料的折射率 n（真空中的光速與材料中光的傳播速度的比值）和消光系數(shù) k（表征材料對(duì)光的吸收）等光學(xué)常數(shù)。

全光譜橢偏儀的主要特點(diǎn)包括：

? 測(cè)量精度高：能測(cè)量很薄的膜（低至單原子層），精度比干涉法高1-2個(gè)數(shù)量級(jí)；

? 非接觸、非破壞性測(cè)量：不必特別制備樣品，也不損壞樣品；

? 可同時(shí)測(cè)量多個(gè)參數(shù)：能同時(shí)測(cè)量膜的厚度、折射率以及吸收率；

? 適用材料廣泛：可測(cè)的材料包括半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機(jī)物、金屬、多層膜物質(zhì)等；

? 光譜范圍可選：從深紫外到紅外，不同的光譜范圍能提供關(guān)于材料的不同信息，可根據(jù)被測(cè)材料的屬性、薄膜厚度及關(guān)心的光譜段等因素進(jìn)行選擇，以提升多層探測(cè)能力并測(cè)試物質(zhì)對(duì)不同波長(zhǎng)光波的折射率等。

在選擇合適的全光譜橢偏儀時(shí)，除了光譜范圍，測(cè)量速度通常也是一個(gè)重要的考慮因素。其測(cè)量速度一般由所選擇的分光儀器來決定，例如使用單色儀每次只能測(cè)試一個(gè)波長(zhǎng)，速度較慢，但波長(zhǎng)比較準(zhǔn)確；而利用探測(cè)器陣列同時(shí)測(cè)量整個(gè)光譜范圍的方式，在需要快速測(cè)量時(shí)較為常用。

全光譜橢偏儀在眾多領(lǐng)域都有應(yīng)用，如半導(dǎo)體、微電子、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等。它可用于研究半導(dǎo)體集成電路制造、光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、聚合物特性等，也可應(yīng)用于材料科學(xué)、物理、化學(xué)等基礎(chǔ)研究，以及生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的相關(guān)研究。

不同型號(hào)的全光譜橢偏儀具有不同的技術(shù)指標(biāo)，例如致東 Radiation橢偏儀的技術(shù)指標(biāo)如下：

致東 Radiation橢偏儀緊湊型膜厚量測(cè)設(shè)備

●  安裝移動(dòng)迅速便捷

●  適用于所有非金屬膜質(zhì)

●  多樣化的應(yīng)用選擇

●  工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口

關(guān)鍵詞：光譜儀 | 橢偏儀 | 反射儀