產(chǎn)品概述:
品牌:致東 Radiation
● 桌上型膜厚量測設(shè)備
● 安裝移動迅速便捷
● 適用于所有非金屬膜質(zhì)
● 多樣化的應(yīng)用選擇
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口
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規(guī)格 |
技術(shù)指標(biāo) |
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襯底類型 |
透明或半透明襯底 |
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光源 |
氙燈 |
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光源壽命 |
>8760H |
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光譜范圍 |
300-1000nm |
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入射角 |
70度(40度-90度 每5度可調(diào)) |
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光斑直徑 |
100x120μm(Min80x100um) |
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測量時間(不對焦) |
<2S(單層模型),<約6s(多層模型) |
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膜厚測量范圍(單層膜) |
1nm-15μm |
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對焦 |
自動訊號對焦 |
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膜厚測量精度 |
<0.5nm(基于標(biāo)片) |
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折射率測量精度 |
<0.005(基于標(biāo)片) |
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厚度重復(fù)性精度: |
<0.5A(1 sigma 標(biāo)準(zhǔn)差,10times)(基于標(biāo)準(zhǔn)片) |
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折射率重復(fù)性精度: |
<0.0005(1 sigma標(biāo)準(zhǔn)差,10times)(基于標(biāo)準(zhǔn)片) |
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可測試膜層數(shù)量 |
≥2層 |
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標(biāo)片數(shù)量 |
2片 |