全光譜橢偏儀是一種用于精確測(cè)量材料光學(xué)特性的專業(yè)光學(xué)分析設(shè)備。

它通過(guò)向樣品表面發(fā)射偏振光，并檢測(cè)反射光偏振態(tài)的變化，基于此來(lái)分析得出材料的多項(xiàng)關(guān)鍵光學(xué)參數(shù)，像折射率、消光系數(shù)、薄膜厚度等。其具備寬光譜范圍的測(cè)量能力，光源能覆蓋從紫外到近紅外等波段，可一次性獲取全光譜內(nèi)的相關(guān)光學(xué)數(shù)據(jù)，進(jìn)而全面了解材料的光學(xué)表現(xiàn)隨波長(zhǎng)變化的情況。以下是利用橢偏儀測(cè)量薄膜厚度的一般步驟：

1. 樣品準(zhǔn)備

? 確保薄膜樣品表面平整、干凈，避免有雜質(zhì)、劃痕等影響測(cè)量結(jié)果的情況出現(xiàn)。如果有必要，可以對(duì)樣品進(jìn)行適當(dāng)?shù)那逑吹阮A(yù)處理操作。

2. 儀器校準(zhǔn)

? 根據(jù)橢偏儀的操作手冊(cè)，對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，比如調(diào)節(jié)光源的強(qiáng)度、校準(zhǔn)起偏器和檢偏器的角度等，保證儀器能準(zhǔn)確地產(chǎn)生已知偏振態(tài)的入射光以及精準(zhǔn)檢測(cè)反射光的偏振態(tài)變化。

3. 設(shè)置測(cè)量參數(shù)

? 輸入與樣品相關(guān)的基礎(chǔ)參數(shù)，像基底材料的光學(xué)常數(shù)（已知的折射率等）等信息，因?yàn)檫@些會(huì)影響后續(xù)的計(jì)算分析。同時(shí)，選擇合適的測(cè)量模式（如單波長(zhǎng)測(cè)量、多波長(zhǎng)測(cè)量等）以及設(shè)定好測(cè)量的角度范圍等。

4. 進(jìn)行測(cè)量

? 將樣品放置在測(cè)量臺(tái)上，調(diào)整好位置，使光線能準(zhǔn)確地照射到薄膜樣品表面，并收集反射回來(lái)的光。啟動(dòng)儀器進(jìn)行測(cè)量，此時(shí)儀器會(huì)記錄下反射光的偏振態(tài)隨測(cè)量角度、波長(zhǎng)等因素變化的數(shù)據(jù)。

5. 數(shù)據(jù)分析

? 測(cè)量得到的數(shù)據(jù)會(huì)傳輸?shù)脚涮椎能浖?，軟件中?nèi)置有相應(yīng)的光學(xué)模型（比如常見(jiàn)的Cauchy模型、Sellmeier模型等），結(jié)合之前輸入的基底材料等相關(guān)參數(shù)，利用這些光學(xué)模型對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析，從而推算出薄膜的厚度數(shù)值以及薄膜自身的折射率等光學(xué)常數(shù)信息。

6. 結(jié)果驗(yàn)證與誤差分析

? 可以采用其他的測(cè)量方法（如臺(tái)階儀測(cè)量厚度等）對(duì)得到的薄膜厚度結(jié)果進(jìn)行對(duì)比驗(yàn)證，查看結(jié)果是否合理。同時(shí)分析測(cè)量過(guò)程中可能引入誤差的環(huán)節(jié)，比如樣品放置角度偏差、儀器本身的精度限制等，必要時(shí)可進(jìn)行重復(fù)測(cè)量來(lái)提高結(jié)果的準(zhǔn)確性。

以上就是一般橢偏儀的測(cè)量流程，可供參考；

致東 Radiation橢偏儀緊湊型膜厚量測(cè)設(shè)備

●  安裝移動(dòng)迅速便捷

●  適用于所有非金屬膜質(zhì)

●  多樣化的應(yīng)用選擇

●  工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口

關(guān)鍵詞：光譜儀 | 橢偏儀 | 反射儀