KOSAKA臺階儀是日本株式會社小坂研究所（簡稱KOSAKA）一款測量臺階/膜厚的產品，主要特點如下：

? 高精度測量：采用金剛石探針接觸測量方式，配合直動式傳感器等設計，可實現(xiàn)高精度表面形貌分析， Z方向最小分辨率達0.1nm。

? 多功能分析：能測量表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種參數(shù)，還可進行二維/三維表面粗度解析。

? 多種型號探針：配備各種型號探針，通過控制接觸力和垂直范圍，適應不同測量需求。

? 便捷觀察定位：彩色CCD原位采集設計，可直接觀察探針工作狀態(tài)，方便準確定位測試區(qū)域。

? 根據(jù)不同應用場景，可搭配全自動機械手臂,實現(xiàn)在線全自動測量。

代表型號及參數(shù)：

? KOSAKA ET200A：樣品臺尺寸φ160mm，可測工件最大尺寸φ200mm、厚度52mm、重量2kg。Z方向測定范圍最大600μm，測定力10uN-500uN，觸針半徑2μm。X軸移動量（測長）100mm，移動速度0.005-20mm/s。

? KOSAKA ET4000：可實現(xiàn)二維/三維表面粗度解析及臺階測定，具有高精度、高辨識能力及安全性，具備載物臺旋轉功能，便于定位下針位置，適用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細形狀臺階/粗度測定。

應用領域：

? 半導體領域：用于半導體硅片的表面形貌測量、臺階高度測量、薄膜厚度測量等，為半導體制造工藝提供關鍵數(shù)據(jù)支持。

? 光電子領域：可對光電子器件的表面進行檢測，確保器件的性能和質量。

? 生物醫(yī)學領域：能對生物醫(yī)學器件的表面進行分析，如人工關節(jié)、牙科材料等的表面粗糙度、磨損度測量。

? 銅箔/薄膜行業(yè)：各類鍍膜材料的膜厚測量。

日本進口KOSAKA 臺階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，可測量各類薄膜厚度，最小測量單位可達0.1nm，配置直動式傳感器，擁有較高的測量精度及重復性。

關鍵詞：臺階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測厚儀 | 段差分析儀