臺(tái)階儀（如ET200A等）若長(zhǎng)時(shí)間不使用，需采取科學(xué)的維護(hù)措施以確保其精度和壽命。以下是關(guān)鍵維護(hù)步驟及注意事項(xiàng)：

1. 探針系統(tǒng)維護(hù)

卸下探針：  

 將金剛石探針從檢出器上取下，存放于專用防震盒中，避免碰撞或積灰。  

 注意：探針尖端極其脆弱，需用無塵棉簽蘸取無水乙醇輕拭清潔。

2. 運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)保養(yǎng)

導(dǎo)軌潤(rùn)滑：  

 使用儀器專用潤(rùn)滑脂（如氟化油脂）涂抹直線導(dǎo)軌，防止空氣氧化導(dǎo)致摩擦系數(shù)增大。  

 注意：潤(rùn)滑前需用無塵布清除舊油脂和灰塵。

手動(dòng)驅(qū)動(dòng)檢查：  

 每月手動(dòng)移動(dòng)X/Y/Z軸數(shù)次，避免滾珠絲杠或軸承因長(zhǎng)期靜止而局部變形。

3. 電子系統(tǒng)防護(hù)

定期通電：  

每2～3個(gè)月開機(jī)運(yùn)行30分鐘，使電容保持活性，防止電路板受潮（尤其濕度＞60%環(huán)境）。  

4. 環(huán)境控制

防塵防潮：  

 覆蓋防靜電罩，內(nèi)部放置硅膠干燥劑（需每月檢查是否變色失效）。  

 濕度建議：40~60% RH；溫度波動(dòng)＜±2℃/天。

避震措施：  

 即使停機(jī)，也應(yīng)保持儀器放置在氣浮隔振平臺(tái)或大理石基座上，避免地面振動(dòng)傳遞。

5. 校準(zhǔn)與復(fù)工準(zhǔn)備

復(fù)工前校準(zhǔn)：  

 重新使用時(shí)需執(zhí)行：  

 1. 感度系數(shù)校正

 2. 臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)片驗(yàn)證（如SiO?標(biāo)樣）  

 3. 線性度檢查（掃描已知間距光柵）

數(shù)據(jù)比對(duì)：  

 首次測(cè)量建議與停機(jī)前數(shù)據(jù)對(duì)比，確認(rèn)儀器狀態(tài)未偏移。

注意事項(xiàng)

禁止操作：  

  使用異丙醇以外的溶劑清潔精密部件  

  徒手觸碰光學(xué)組件或探針尖端  

  在未達(dá)到恒溫條件（通常4小時(shí)）時(shí)開機(jī)測(cè)量  

長(zhǎng)期停機(jī)（＞1年）：  

 建議聯(lián)系廠家進(jìn)行專業(yè)封存保護(hù)關(guān)鍵部件。

通過系統(tǒng)化維護(hù)，臺(tái)階儀即使閑置2~3年仍可保持±1%的測(cè)量精度。復(fù)工后若發(fā)現(xiàn)異常（如臺(tái)階高度重復(fù)性＞3%），需立即停機(jī)并聯(lián)系廠商檢修。

日本進(jìn)口KOSAKA 臺(tái)階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，可測(cè)量各類薄膜厚度，最小測(cè)量單位可達(dá)0.1nm，配置行業(yè)領(lǐng)先的直動(dòng)式傳感器，擁有較高的測(cè)量精度及重復(fù)性。

關(guān)鍵詞：臺(tái)階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 段差分析儀