導(dǎo)讀：本文主要介紹非接觸式光學(xué)形貌測(cè)量中遇到的常見(jiàn)難題，包括測(cè)量速度和精度的取舍、過(guò)高的傾斜角度、極高或極低的表面反射率等等情況。

光學(xué)測(cè)量具有不接觸樣品、不留下測(cè)量痕跡、速度快等等各種優(yōu)點(diǎn)，但世界上沒(méi)有任何一種技術(shù)是完美的，今天為大家普及一下光學(xué)測(cè)量可能會(huì)遇到的常見(jiàn)難題，以供在調(diào)研和購(gòu)買(mǎi)階段參考。

首先，測(cè)量領(lǐng)域要始終牢記的一點(diǎn)是“速度和精度不可兼得”。一般來(lái)說(shuō)，測(cè)量速度越快，測(cè)量精度就越值得質(zhì)疑，數(shù)據(jù)的可信性也越值得推敲。想想看，你的眼睛也可以看做一臺(tái)相當(dāng)精密的量測(cè)儀器，但是在你迅速跑動(dòng)的過(guò)程中，你看東西的清晰度如何呢？

其次，光學(xué)測(cè)量在針對(duì)傾斜角度很高的區(qū)域時(shí)，數(shù)據(jù)經(jīng)常會(huì)失真。例如你要測(cè)量硅片上的電極，這些電極好像是“凸”字的上半邊，基板是下半邊。傳感器一般是垂直于樣品表面的，光到達(dá)凸字最上邊的“一”，可以很好地反射回去；但到了兩邊的“丨”，大部分光就會(huì)被反射到不知道什么地方去了，只有少量的光能返回去被轉(zhuǎn)化成數(shù)字信號(hào)。下圖中圈出的角度越接近90°，測(cè)量就越困難，數(shù)據(jù)也越容易失真。

再次，需要知道的是，測(cè)量是一回事，解析又是一回事。市場(chǎng)上很多光學(xué)測(cè)量?jī)x器精度可能不夠，無(wú)法測(cè)量你的樣品，但是測(cè)量軟件上展示出來(lái)的結(jié)果卻很平滑很漂亮，為什么呢？這無(wú)非是在輸出測(cè)量結(jié)果的數(shù)據(jù)或者圖形之前，軟件已經(jīng)進(jìn)行了數(shù)學(xué)計(jì)算和算法處理，給你看的結(jié)果，是加了“濾鏡”處理過(guò)的而已。

最后，光學(xué)測(cè)量靠的是光的各種原理，例如折射、反射、穿透、干涉等等；同時(shí)，所使用的光源也多種多樣：白光、激光、X-Ray、LED，不一而足。不同的光源具有不同的波長(zhǎng)，面對(duì)不同材質(zhì)的樣品時(shí)，其測(cè)量效果也會(huì)不一樣。半導(dǎo)體、光學(xué)元器件等等行業(yè)的產(chǎn)品，其材質(zhì)對(duì)光具有不同的吸收曲線（Absorption Curve），或者高低不同的反射率、折射率，這些因素都會(huì)影響最終的測(cè)量結(jié)果。這也是為什么很多時(shí)候光看彩頁(yè)上的參數(shù)是不夠的，實(shí)際測(cè)量樣品的結(jié)果才最有說(shuō)服力。

使用者的測(cè)量需求千差萬(wàn)別，綜合考量精度、速度、預(yù)算等各個(gè)方面的狀況，才能找到性價(jià)比最高的儀器。但市場(chǎng)上的產(chǎn)品種類繁多，令人眼花繚亂，找到對(duì)的人幫您推薦合適的產(chǎn)品，能節(jié)省您大量的時(shí)間和精力。

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