導(dǎo)讀：介紹了臺(tái)階儀的工作原理和常用領(lǐng)域后，本文主要介紹日本小坂研究所生產(chǎn)的Kosaka臺(tái)階儀ET200A，包括其整體結(jié)構(gòu)，傳感器設(shè)計(jì)原理與主要優(yōu)勢(shì)，同時(shí)和業(yè)界已有的臺(tái)階儀進(jìn)行對(duì)比。

我們?cè)诘谝黄榻B臺(tái)階儀的文章中講到：“臺(tái)階儀的工作原理是：測(cè)針以十分微小的力輕輕劃過(guò)樣品表面，樣品表面微米甚至納米級(jí)別的高低起伏通過(guò)與測(cè)針連接的傳感器得到千百萬(wàn)倍的放大，然后被轉(zhuǎn)換成電子信號(hào)，輸入到電腦軟件中，最終以數(shù)字和圖形的數(shù)據(jù)形式展現(xiàn)出來(lái)，供技術(shù)人員查看?！?

這一原理的實(shí)現(xiàn)，是通過(guò)臺(tái)階儀本體、控制器和PC端協(xié)作完成的。下圖是Kosaka臺(tái)階儀ET200A型號(hào)，左側(cè)上方為PC,左側(cè)下方為控制器，右側(cè)為臺(tái)階儀本體，三者之間彼此有相對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線連接。

臺(tái)階儀的測(cè)針劃過(guò)樣品表面后，樣品表面微細(xì)形狀的變化會(huì)通過(guò)連接在探針上方的差動(dòng)變壓傳感器進(jìn)行放大。這些變化的電子信號(hào)會(huì)通過(guò)數(shù)據(jù)線從臺(tái)階儀本體的傳感器傳輸?shù)娇刂破鳎購(gòu)目刂破鱾鬏數(shù)絇C端的測(cè)量軟件中，最終以圖形和數(shù)據(jù)的形式展現(xiàn)出來(lái)。

臺(tái)階儀測(cè)量結(jié)果精度如何，跟其傳感器的工作原理息息相關(guān)。目前業(yè)界的臺(tái)階儀全都是接觸式測(cè)量，其工作原理大概有兩種：直動(dòng)式運(yùn)動(dòng)軌跡與杠桿式運(yùn)動(dòng)軌跡，兩種不同的運(yùn)動(dòng)軌跡，也決定了不同的精度和重現(xiàn)性。這一點(diǎn)，我們?cè)谙乱黄嘘P(guān)臺(tái)階儀的文章中展開(kāi)講解。

日本進(jìn)口的KOSAKA 臺(tái)階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分別對(duì)應(yīng)：學(xué)術(shù)和科研單位的研發(fā)測(cè)量（例如工程系、材料系和機(jī)電系的材料測(cè)量需求），面板、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)工廠自動(dòng)化測(cè)量和超大型工廠全自動(dòng)化測(cè)量的需求。

關(guān)鍵詞：臺(tái)階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 段差分析儀