導(dǎo)讀：臺(tái)階儀的書面參數(shù)是設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)過程中，在理想條件下避免各類外界干擾因素才能達(dá)到的；在實(shí)際測(cè)量中，設(shè)備安裝和運(yùn)行環(huán)境中的變量，以及樣品本身的均一性，都是使得臺(tái)階儀實(shí)際測(cè)量結(jié)果和其書面參數(shù)有一定差異的原因；用戶在購(gòu)買和使用設(shè)備時(shí)，應(yīng)合理調(diào)整自己的期望值，充分了解設(shè)備的能力與自身需求的匹配性。

對(duì)于花費(fèi)了大量時(shí)間、精力和財(cái)力購(gòu)買回來(lái)的測(cè)量設(shè)備，每一位用戶都希望物有所值。很多客戶在閱讀臺(tái)階儀的專業(yè)測(cè)樣報(bào)告時(shí)提出疑問：為什么測(cè)樣的實(shí)際結(jié)果和前期調(diào)研交流時(shí)在彩頁(yè)和型錄上的書面參數(shù)相去甚遠(yuǎn)？是不是臺(tái)階儀參數(shù)夸大，設(shè)備實(shí)際性能根本達(dá)不到？事實(shí)上，并非如此。

臺(tái)階儀的書面參數(shù)來(lái)自于理想測(cè)試環(huán)境下對(duì)完美樣品的測(cè)量。一方面，研發(fā)一臺(tái)精密測(cè)量?jī)x器時(shí)，測(cè)試環(huán)境一定是盡力接近完美的：恒溫恒濕、無(wú)振動(dòng)輻射、無(wú)運(yùn)動(dòng)氣流；另一方面，測(cè)量的樣品是以高標(biāo)準(zhǔn)工藝打磨出的理想標(biāo)準(zhǔn)片，其平面度、表面粗糙度、臺(tái)階高度和形狀以及產(chǎn)品的均一性都處于適合測(cè)量的極佳狀態(tài)。由此，才有了型錄和彩頁(yè)上的書面參數(shù)。

實(shí)際測(cè)量中，會(huì)受到臺(tái)階儀運(yùn)行環(huán)境中的各類因素的干擾和樣品本身均一性的限制，因此數(shù)據(jù)和彩頁(yè)、型錄上的書面參數(shù)有一定差距。例如，客戶的設(shè)備安裝環(huán)境，可能有電腦、電扇、空調(diào)、真空泵或者影響空氣運(yùn)動(dòng)和造成震動(dòng)的其他因素，在微米尺度的測(cè)量中，這些震動(dòng)的影響并不大，但到了數(shù)十納米時(shí)，這些因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響就顯現(xiàn)出來(lái)了；除此之外，一些使用者自身生產(chǎn)的樣品表面本身均一性水平就不高，毛刺、坑洼多見。在這種情況下，即使臺(tái)階儀精度再好，穩(wěn)定性再優(yōu)良，也無(wú)法達(dá)到設(shè)備書面參數(shù)的水平。

因此，客戶在購(gòu)買臺(tái)階儀前，最好能夠?qū)ψ陨淼男枨蠛凸?yīng)商的產(chǎn)品性能有明確的了解，從而合理調(diào)整自己的期望值。前期調(diào)研中和設(shè)備供應(yīng)商進(jìn)行面對(duì)面交流，以及開誠(chéng)布公的技術(shù)問答，能夠起到很大作用。

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日本進(jìn)口KOSAKA 臺(tái)階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分別對(duì)應(yīng)：學(xué)術(shù)和科研單位的膜厚測(cè)量（如工程系、材料系和機(jī)電系材料測(cè)量需求），面板、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)工廠自動(dòng)化測(cè)量和超大型工廠全自動(dòng)化測(cè)量的需求。

關(guān)鍵詞：臺(tái)階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 段差分析儀