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產(chǎn)品概述：
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模式 |
精密 |
廣范圍 |
AF |
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測量范圍 |
12μm |
30μm |
30μm |
100μm |
500μm |
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分辨率 |
0.2nm |
0.5nm |
0.5nm |
0.2nm |
7.6nm |
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重復(fù)精度 |
10nm |
20nm |
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光斑直徑 |
約1～10μm |
約1～25μm |
約1μm |
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作動距離 |
約1.5mm |
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激光波長 |
635nm |
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測量面的反射率 |
4%或以上 |
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