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產(chǎn)品概述：
● 承載量> 50 kg。
● 專用探針卡盤；RFID 卡識別。
● 適用于SEMI以及SECS/GEM協(xié)議。
● MEMS式, 垂直式, 懸臂式探針卡。
● 評估晶圓磨損與探針尖/頭的相關性。
● 探測探針卡表面異物與表面堵塞情況。
● 持續(xù)監(jiān)測耗損狀況, 精確預測使用壽命。
● 迅速評估, 精準定位, 大幅降低維修時間。
| 分辨率 | X & Y軸: 0.5-5.1um; |
|---|---|
| Z軸：0.016 um; | |
| 取樣率 | 8000 Hz |
| 工作距離 | 8 mm |
| 掃描寬度 | 630 um |
| 高度范圍 | 300 um – 400 um |
| 機臺尺寸 | 300mm x 300mm（可定制） |
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