產(chǎn)品概述:
配備劃時(shí)代意義的高精度檢出控制系統(tǒng)∶可檢出微小形狀?!?
可測(cè)量最小孔徑10μm/最大深度300μm的孔內(nèi)形狀。
高分辨率∶ 10nm 可實(shí)現(xiàn)低測(cè)定壓∶ 1pN以下。
采用高彈性光纖維測(cè)針。
可測(cè)量深孔的內(nèi)徑/外徑/深度、溝槽的內(nèi)寬/外寬/深度、壁面。
具有解析功能∶ 真圓度、圓柱度、直徑、段差、槽寬、直角度、粗糙度等多種解析功能。
可通過(guò)軟件編程,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量。
搭載測(cè)針自動(dòng)切換裝置。
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