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產(chǎn)品概述：
? 測量膜厚、段差，建立配方后可自動測量。
? 直動式檢出器，更高精度，高再現(xiàn)性。
? X、Y方向兩軸測量，工件放置不受限。
? 可搭載機械手臂，實現(xiàn)在線全自動測量。
NT1520臺階儀
產(chǎn)品參數(shù):
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最大樣品尺寸 |
φ220×厚度10mm；可對應4、6、8寸晶圓 |
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再現(xiàn)性 |
1σ 0.3nm以內(nèi) |
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測量范圍 |
Z:1300μm X:205mm Y:280mm |
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分辨率 |
Z:0.1nm X:0.01μm Y:0.1μm |
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測定力 |
30μN～600μN，選配：0.5μN～ |
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