產(chǎn)品概述:
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SEF800-G |
SEF800-N |
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表面粗糙度 |
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測(cè)量范圍 |
Z:600μm X:100mm |
Z:600μm X:100mm |
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直線度 |
0.2μm/100mm |
0.2μm/100mm |
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Z軸最小分辨率 |
0.04nm |
0.04nm |
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輪廓形狀 |
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測(cè)量范圍 |
Z:50mm X:100mm |
Z:60mm X:100mm |
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直線度 |
1.0μm/100mm |
1.0μm/100mm |
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Z軸最小分辨率 |
0.1μm |
0.025μm |
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