產(chǎn)品概述:
? 變位檢出內(nèi)建Digital Sensor。
? 一次測量即可得到高精度輪廓形狀和表面粗度的測定值。
? 解析功能具備Plateau表面解析和Morphological接觸點(diǎn)Filter。
DSF-L800產(chǎn)品參數(shù):
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Z軸最大測量范圍 |
SA-41 12mm/SA-32 24mm |
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X軸最大測量范圍 |
100mm |
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Z軸最小分辨率 |
0.75nm/1.5nm |
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直線度精度 |
0.4μm/100mm |
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檢出器 |
PU-LA4 |
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觸針 |
SA-41 R2μm 60°/SA-32 R25μm 25° |
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設(shè)備尺寸 |
W1500×D800mm |