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產(chǎn)品概述：
● 高成本效益設備。
● 一次掃描涵蓋所有凸塊，產(chǎn)出真實3D數(shù)據(jù)。
● 適用于SEMI標準。
● 適用于所有基板類型。
● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …。
● 適用于4”，6”，8”晶圓 。
● 工業(yè)標準數(shù)據(jù)端口。
NanoFocus半導體晶圓檢測設備（人工裝載）產(chǎn)品參數(shù)
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分辨率 |
X & Y軸: 0.5-2.5um; |
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Z軸：0.016 um; |
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取樣率 |
20000 Hz |
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工作距離 |
8 mm |
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掃描寬度 |
630 um |
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高度范圍 |
300 um – 400 um |
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機臺尺寸 |
400mm x 400mm（可定制） |
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