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產(chǎn)品概述：
? 適用于圓筒形狀工件圓弧表面的非接觸測(cè)量。
? 激光束采用斜面照射，更利于透明工件的測(cè)量。
? 激光等級(jí)：Class 1（JIS C 6802:2011）
Trispy PU-OS600 產(chǎn)品參數(shù)：
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測(cè)量范圍 |
30～500μm |
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分辨率 |
0.5nm |
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重復(fù)精度 |
20nm |
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光斑直徑 |
約3μm |
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傾斜角 |
X軸 |
±50° |
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Y軸 |
±25° |
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作動(dòng)距離 |
1.5mm |
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激光波長(zhǎng) |
635nm |
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